[굿모닝충청 김지현 기자] 한밭대 창의융합학과 김동수 교수 연구팀은 신개념 AEM(Atomizer Electromagnetic Movable mask) 나노 3D 프린터 원천 기술을 개발했다고 4일 밝혔다.
이번에 개발된 기술은 직경 5nm 이하, 100nm 이상 높이의 멀티 어레이 나노 패턴이 가능하며, 향후 RNA/DNA chip, 3D 입체 트랜지스터 개발 등으로 바이오 및 전자산업 분야 혁신을 앞당길 것으로 기대를 모으고 있다.
또 기존 ESD(Electrostatic Deposition) 장비의 나노 패터닝 수율은 30%인 반면, AC 솔레노이드 코일을 이용한 AEM 나노 3D 프린터는 수율 100%로 나노 패터닝이 가능하다.
아울러 연구팀은 기존 나노 선 패터닝에 국한됐던 한계를 넘어 나노 면과 입체 패턴을 비롯, 멀티 어레이 패턴 제조가 가능하다는 점을 이론적 해석을 통해 입증해냈다.
이에 따라 나노 3D 프린터 관련 특허출원 6건, Nature Communication 논문 1편, 산업통상자원부 장관상, 신진학술상 등을 수상했으며, SEM 전자현미경 구조의 신개념 AEM 나노 3D 프린터의 삼극특허 출원을 진행하고 있다.
향후 기술 구체화를 위한 2단계에는 한국전자통신연구원, 한국전기연구원, 동경공업대학교의 3개 기관이 추가로 참여할 예정이다. 더불어 한국플렉시블일렉트로닉스산업협회(KoPEA), 한국3D프린팅산업협회(3DPIA), 독일 프라운호퍼 등 약 150개 기업체 멤버십을 통해 바이오 및 전자산업 활성화와 기업체 기술이전과 신규기업 창업 등 활용도를 극대화할 계획이다.
한편, 이번 기술은 한국생산기술연구원, 한국과학기술원, 산업통상자원부에서 공동으로 주관하는 산업기술알키미스트프로젝트 과제를 통해 개발됐다.
